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株式会社ＳＵＭＣＯ

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　■　2020年特許取得件数ランキング　　　第290位　95件（2019年：第185位　146件）

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6773121	石英ガラスルツボ及びその製造方法並びに石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の製造方法	2020年10月21日
特許 6766700	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハおよび固体撮像素子の製造方法	2020年10月14日
特許 6766792	検査治具及びこれを用いたシリコンウェーハの欠陥検査方法	2020年10月14日
特許 6766893	リフトピン、該リフトピンを用いたエピタキシャル成長装置およびシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法	2020年10月14日
特許 6763347	窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板	2020年 9月30日
特許 6759626	エピタキシャルウェーハの製造方法およびエピタキシャルウェーハ	2020年 9月23日
特許 6760128	シリコン単結晶の製造方法、整流部材、および、単結晶引き上げ装置	2020年 9月23日
特許 6760243	シリコン単結晶の良否判別方法、シリコン単結晶の製造方法、およびシリコンウェーハの製造方法	2020年 9月23日
特許 6753356	坩堝支持装置およびシリコン単結晶の製造方法	2020年 9月 9日
特許 6750351	クラスターイオンビーム生成方法およびそれを用いたクラスターイオンビーム照射方法	2020年 9月 2日
特許 6750582	チャックテーブルの洗浄装置および該洗浄装置を備える研削装置	2020年 9月 2日
特許 6747393	シリコンウェーハの抵抗率評価方法	2020年 8月26日
特許 6747526	単結晶引上装置のクリーニング装置	2020年 8月26日
特許 6747599	シリコンウェーハの両面研磨方法	2020年 8月26日
特許 6743746	ウェーハの両面研磨装置および両面研磨方法	2020年 8月19日

95 件中 16-30 件を表示

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6773121 6766700 6766792 6766893 6763347 6759626 6760128 6760243 6753356 6750351 6750582 6747393 6747526 6747599 6743746

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