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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7355255	枚葉式ウェーハ洗浄装置の配管の洗浄方法	2023年10月 3日
特許 7351273	半導体ウェーハの割れの発生率低減方法	2023年 9月27日
特許 7351331	シリコンウェーハの枚葉式スピン洗浄乾燥方法	2023年 9月27日
特許 7342392	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、および、エピタキシャルシリコンウェーハ	2023年 9月12日
特許 7342695	エピタキシャルウェーハ製造システム及び製造方法	2023年 9月12日
特許 7342789	シリコンウェーハおよびシリコンウェーハの製造方法	2023年 9月12日
特許 7342815	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法	2023年 9月12日
特許 7342822	単結晶製造装置及び単結晶の製造方法	2023年 9月12日
特許 7342845	シリコン単結晶の製造方法	2023年 9月12日
特許 7342909	シリコンウェーハ及びその製造方法	2023年 9月12日
特許 7331520	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法、エピタキシャルシリコンウェーハ、シリコンウェーハの製造方法および半導体装置の製造方法	2023年 8月23日
特許 7327575	半導体ウェーハの鏡面面取り加工時の研磨代の評価方法	2023年 8月16日
特許 7318738	単結晶製造システム及び単結晶製造方法	2023年 8月 1日
特許 7306234	ウェーハの研磨方法及びシリコンウェーハ	2023年 7月11日
特許 7306346	ワークの洗浄処理方法及びワークの洗浄処理システム	2023年 7月11日

84 件中 16-30 件を表示

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7355255 7351273 7351331 7342392 7342695 7342789 7342815 7342822 7342845 7342909 7331520 7327575 7318738 7306234 7306346

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