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株式会社SUMCO

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  2023年 出願公開件数ランキング    第512位 61件 上昇2022年:第539位 58件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第372位 84件 下降2022年:第278位 113件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7264012 エピタキシャルシリコンウェーハのパッシベーション効果評価方法 2023年 4月25日
特許 7264038 気相成長装置及び気相成長処理方法 2023年 4月25日
特許 7264039 研磨ヘッド、化学的機械的研磨装置、および、化学的機械的研磨方法 2023年 4月25日
特許 7264043 単結晶育成方法および単結晶育成装置 2023年 4月25日
特許 7259615 ヘテロエピタキシャルウェーハの製造方法 2023年 4月18日
特許 7259706 エピタキシャルシリコンウェーハのパッシベーション効果評価方法 2023年 4月18日
特許 7259722 単結晶製造装置及び単結晶の製造方法 2023年 4月18日
特許 7259736 結晶欠陥の検出方法、エピタキシャル成長装置の管理方法およびエピタキシャルウェーハの製造方法 2023年 4月18日
特許 7259791 シリコンウェーハへのクラスターイオン注入による白傷欠陥低減効果の評価方法及びエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 2023年 4月18日
特許 7259941 研磨ヘッド、研磨装置および半導体ウェーハの製造方法 2023年 4月18日
特許 7255468 誘導加熱コイル及びこれを用いた単結晶製造装置 2023年 4月11日
特許 7251458 シリコンウェーハの製造方法 2023年 4月 4日
特許 7251590 機械学習の評価方法及び機械学習による推定モデルの生成方法 2023年 4月 4日
特許 7249395 半導体試料の評価方法、半導体試料の評価装置および半導体ウェーハの製造方法 2023年 3月30日
特許 7247879 単結晶シリコンウェーハの酸化膜耐圧の評価方法 2023年 3月29日

84 件中 46-60 件を表示

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7264012 7264038 7264039 7264043 7259615 7259706 7259722 7259736 7259791 7259941 7255468 7251458 7251590 7249395 7247879

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