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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第141位 330件
(2018年:第172位 256件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第156位 176件
(2018年:第188位 158件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6480445 | カプセル化されたマグネトロン | 2019年 3月13日 | |
特許 6484642 | 安定化された高温堆積のためのガス冷却式基板支持体 | 2019年 3月13日 | |
特許 6474778 | ガス状化学種の混合を増進するための小型デバイス | 2019年 2月27日 | |
特許 6473131 | 方位角方向及び半径方向分布制御を備えたマルチゾーンガス注入アセンブリ | 2019年 2月20日 | |
特許 6473332 | セグメント化されたアンテナアセンブリおよびプラズマ発生装置 | 2019年 2月20日 | |
特許 6469680 | アクセスが容易なランプヘッド | 2019年 2月13日 | |
特許 6469688 | 高温低圧環境用の細長い容量結合プラズマ源 | 2019年 2月13日 | |
特許 6469705 | エッチング後のインターフェースを安定化し、次の処理ステップ前のキュータイム問題を最小化する方法 | 2019年 2月13日 | |
特許 6470807 | 最小限のクロストークで熱的に分離されたゾーンを有する静電チャック | 2019年 2月13日 | |
特許 6471164 | 冷却された真空閉じ込め容器を備えるホットウォールリアクタ | 2019年 2月13日 | |
特許 6463755 | 半導体装置のためのシーリング溝の方法 | 2019年 2月 6日 | |
特許 6464122 | 薄膜電池パッケージ | 2019年 2月 6日 | |
特許 6466131 | 研磨基板からのスペクトルデータのグループ分け | 2019年 2月 6日 | |
特許 6466364 | 改善されたガス流のためのシャワーヘッド支持構造 | 2019年 2月 6日 | |
特許 6466469 | 有機材料用の蒸発源 | 2019年 2月 6日 |
176 件中 151-165 件を表示
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6480445 6484642 6474778 6473131 6473332 6469680 6469688 6469705 6470807 6471164 6463755 6464122 6466131 6466364 6466469
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9月12日(金) -
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