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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2019年 出願公開件数ランキング    第141位 330件 上昇2018年:第172位 256件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第156位 176件 上昇2018年:第188位 158件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6586108 一体型センサを有する化学機械研磨保持リング 2019年10月 2日
特許 6586530 基板をマスキングするためのマスク構成、及び、マスクと基板との位置を合わせるための方法 2019年10月 2日
特許 6580042 基板研磨中の研磨速度の制限的調整 2019年 9月25日
特許 6580601 光学センサを使用したパルスプラズマのモニタリング 2019年 9月25日
特許 6580729 ウェハ処理機器の化学制御機構 2019年 9月25日
特許 6581602 改善されたフローコンダクタンス及び均一性のため軸対称性を可能にするインラインDPSチャンバハードウェア設計 2019年 9月25日
特許 6581964 CMP研磨ヘッド用の基板歳差運動機構 2019年 9月25日
特許 6581978 半導体製造コンポーネント用高純度金属トップコート 2019年 9月25日
特許 6582003 マルチゾーン化学機械平坦化研磨ヘッドのための設定可能な圧力設計 2019年 9月25日
特許 6582059 アライナ構造及びアライン方法 2019年 9月25日
特許 6582081 電場/磁場案内された酸拡散 2019年 9月25日
特許 6577104 EPIプロセスのための均一性調整レンズを有するサセプタ支持シャフト 2019年 9月18日
特許 6577514 水溶性ダイアタッチフィルムを用いたレーザ・プラズマエッチングウェハダイシング 2019年 9月18日
特許 6578297 改良された熱処理チャンバ 2019年 9月18日
特許 6578352 低圧熱処理のためのライトパイプ構造ウインドウ 2019年 9月18日

176 件中 46-60 件を表示

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6586108 6586530 6580042 6580601 6580729 6581602 6581964 6581978 6582003 6582059 6582081 6577104 6577514 6578297 6578352

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