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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第141位 330件
(2018年:第172位 256件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第156位 176件
(2018年:第188位 158件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6598780 | AC電力コネクタ、スパッタリング装置、及びそのための方法 | 2019年10月30日 | |
特許 6599339 | 取外し可能な遮断弁遮蔽挿入物アセンブリ | 2019年10月30日 | |
特許 6599846 | アモルファス層極端紫外線リソグラフィブランク及びそのための製造・リソグラフィシステム | 2019年10月30日 | |
特許 6600307 | 裏側冷却溝を備えるスパッタリングターゲット | 2019年10月30日 | |
特許 6594960 | ペデスタルの流体による熱制御 | 2019年10月23日 | |
特許 6594986 | 真空堆積のための材料源アレンジメント及び材料分配アレンジメント | 2019年10月23日 | |
特許 6595989 | 取り外し可能なインターフェイスを有する誘電体導管アセンブリを使用したプラズマ発生システム及び関連するアセンブリの取り付け方法 | 2019年10月23日 | |
特許 6596060 | 蓋及びノズル上の希土類酸化物系コーティング用イオンアシスト蒸着 | 2019年10月23日 | |
特許 6596474 | 閉ループ制御 | 2019年10月23日 | |
特許 6591501 | 回転式基板処理システム | 2019年10月16日 | |
特許 6591570 | 基板用セルフロックホルダ | 2019年10月16日 | |
特許 6591657 | 真空システムで使用するためのキャリア、真空処理のためのシステム、及び基板の真空処理のための方法 | 2019年10月16日 | |
特許 6592012 | ガス分配及び個別のポンピングを伴うバッチ硬化チャンバ | 2019年10月16日 | |
特許 6585097 | ガス分配プレート熱を使用する温度ランピング | 2019年10月 2日 | |
特許 6585191 | キャリア又は基板を搬送するための装置及び方法 | 2019年10月 2日 |
176 件中 31-45 件を表示
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6598780 6599339 6599846 6600307 6594960 6594986 6595989 6596060 6596474 6591501 6591570 6591657 6592012 6585097 6585191
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