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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第141位 330件
(2018年:第172位 256件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第156位 176件
(2018年:第188位 158件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6573892 | 移送チャンバガスパージ装置、電子デバイス処理システム、及びパージ方法。 | 2019年 9月11日 | |
特許 6573918 | ロールツーロールウエハ裏側粒子及び汚染の除去 | 2019年 9月11日 | |
特許 6574026 | 3つのゾーンからなるキャリアヘッドおよびフレキシブル膜 | 2019年 9月11日 | |
特許 6574442 | 基板を急速に冷却する方法および装置 | 2019年 9月11日 | |
特許 6568848 | フィードフォワード調整を用いて流量比コントローラを制御するための方法及びシステム | 2019年 8月28日 | |
特許 6568853 | デバイスを処理するための処理装置、及び処理真空チャンバから保守真空チャンバへ又は保守真空チャンバから処理真空チャンバへ蒸発源を移送するための方法 | 2019年 8月28日 | |
特許 6568863 | シャドーフレームを除去するためのガス閉じ込め装置アセンブリ | 2019年 8月28日 | |
特許 6568879 | スマートチャンバおよびスマートチャンバ構成要素 | 2019年 8月28日 | |
特許 6562916 | 予測フィルタを用いた基板研磨中の研磨速度の調整 | 2019年 8月21日 | |
特許 6563044 | 多数の光ヘッドからのスペクトルの収集 | 2019年 8月21日 | |
特許 6563438 | 真空プロセス・チャンバの構成部品及び製造方法 | 2019年 8月21日 | |
特許 6563535 | 方位角方向及び半径方向分布制御を備えたマルチゾーンガス注入アセンブリ | 2019年 8月21日 | |
特許 6564707 | 正極活物質コーティング | 2019年 8月21日 | |
特許 6564764 | 効率的な熱サイクリングのためのモジュール式基板ヒータ | 2019年 8月21日 | |
特許 6559218 | 極紫外線キャッピング層、及び極紫外線キャッピング層の製造及びリソグラフィの方法 | 2019年 8月14日 |
176 件中 61-75 件を表示
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6573892 6573918 6574026 6574442 6568848 6568853 6568863 6568879 6562916 6563044 6563438 6563535 6564707 6564764 6559218
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