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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2022年 出願公開件数ランキング    第56位 541件 上昇2021年:第132位 313件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第112位 303件 上昇2021年:第117位 241件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7000447 電子デバイス製造装置、システム、及び方法における負荷ポート動作 2022年 1月19日
特許 7000466 電子デバイス製造システムにおいて直接的な構成要素同士の接触を介して間隙を較正するシステム及び方法 2022年 1月19日
特許 6998136 ピクセル化された容量制御ESC 2022年 1月18日
特許 6998945 ルテニウムライナーと共に銅のエレクトロマイグレーションを改善するドープされた選択的な金属キャップ 2022年 1月18日
特許 6995890 ニッケルシリサイドの抵抗値を調整するためのプロセス統合方法 2022年 1月17日
特許 6993881 チャンバ部品のための腐食制御 2022年 1月14日
特許 6994502 プラズマ処理チャンバ用プラズマスクリーン 2022年 1月14日
特許 6991962 空間的原子層堆積用の加熱源 2022年 1月13日
特許 6992089 誘電体膜の選択的堆積のための方法及び装置 2022年 1月13日
特許 6993395 遠隔プラズマ源を使用する低温での選択的な酸化のための装置及び方法 2022年 1月13日
特許 6993429 画像に基づく基板マッピング装置 2022年 1月13日
特許 6991306 複数の埋込電極を有する基板支持体 2022年 1月12日
特許 6991311 モニタリングデバイスを有する処理ツール 2022年 1月12日
特許 6991325 デュアルロードロック構成による高温加熱支持ペデスタル 2022年 1月12日
特許 6987646 原子層堆積による多層耐プラズマ性コーティング 2022年 1月 5日

303 件中 286-300 件を表示

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7000447 7000466 6998136 6998945 6995890 6993881 6994502 6991962 6992089 6993395 6993429 6991306 6991311 6991325 6987646

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