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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第56位 541件
(2021年:第132位 313件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第112位 303件
(2021年:第117位 241件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7000447 | 電子デバイス製造装置、システム、及び方法における負荷ポート動作 | 2022年 1月19日 | |
特許 7000466 | 電子デバイス製造システムにおいて直接的な構成要素同士の接触を介して間隙を較正するシステム及び方法 | 2022年 1月19日 | |
特許 6998136 | ピクセル化された容量制御ESC | 2022年 1月18日 | |
特許 6998945 | ルテニウムライナーと共に銅のエレクトロマイグレーションを改善するドープされた選択的な金属キャップ | 2022年 1月18日 | |
特許 6995890 | ニッケルシリサイドの抵抗値を調整するためのプロセス統合方法 | 2022年 1月17日 | |
特許 6993881 | チャンバ部品のための腐食制御 | 2022年 1月14日 | |
特許 6994502 | プラズマ処理チャンバ用プラズマスクリーン | 2022年 1月14日 | |
特許 6991962 | 空間的原子層堆積用の加熱源 | 2022年 1月13日 | |
特許 6992089 | 誘電体膜の選択的堆積のための方法及び装置 | 2022年 1月13日 | |
特許 6993395 | 遠隔プラズマ源を使用する低温での選択的な酸化のための装置及び方法 | 2022年 1月13日 | |
特許 6993429 | 画像に基づく基板マッピング装置 | 2022年 1月13日 | |
特許 6991306 | 複数の埋込電極を有する基板支持体 | 2022年 1月12日 | |
特許 6991311 | モニタリングデバイスを有する処理ツール | 2022年 1月12日 | |
特許 6991325 | デュアルロードロック構成による高温加熱支持ペデスタル | 2022年 1月12日 | |
特許 6987646 | 原子層堆積による多層耐プラズマ性コーティング | 2022年 1月 5日 |
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7000447 7000466 6998136 6998945 6995890 6993881 6994502 6991962 6992089 6993395 6993429 6991306 6991311 6991325 6987646
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