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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第32位 708件
(2022年:第56位 541件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第80位 398件
(2022年:第112位 303件)
(ランキング更新日:2025年6月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7377264 | パルスDCバイアスを使用した場合の自動ESC静電気バイアス補償 | 2023年11月 9日 | |
特許 7377289 | プロセスキットリング摩耗の検出器 | 2023年11月 9日 | |
特許 7377354 | マスクレスベースのリソグラフィ方法 | 2023年11月 9日 | |
特許 7376613 | 電力増幅器内の熱管理用の水冷プレート | 2023年11月 8日 | |
特許 7376623 | ウエハ処理システム向けの熱管理のシステム及び方法 | 2023年11月 8日 | |
特許 7376693 | 処理システムおよび反応体ガスを供給する方法 | 2023年11月 8日 | |
特許 7375246 | 先進の半導体プロセス最適化および生産中の適応制御 | 2023年11月 7日 | |
特許 7374308 | 誘電体材料を堆積する方法及び装置 | 2023年11月 6日 | |
特許 7373503 | 親水性及びゼータ電位の調節可能な化学機械研磨パッド | 2023年11月 2日 | |
特許 7373656 | 絶縁されたライナック共振器ピックアップ回路 | 2023年11月 2日 | |
特許 7372050 | 電流帰還出力ステージを有するパルス発生器を使用してイオンエネルギー分布を制御する方法 | 2023年10月31日 | |
特許 7372442 | 分配時の混合によるスラリー温度制御 | 2023年10月31日 | |
特許 7372500 | ファクトリインターフェース設置面積スペース中にロードロックを組み込むためのシステムおよび方法 | 2023年10月31日 | |
特許 7369166 | 薄膜封止処理システムおよびプロセスキット | 2023年10月25日 | |
特許 7369183 | プラズマ処理チャンバのための熱伝導スペーサ | 2023年10月25日 |
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7377264 7377289 7377354 7376613 7376623 7376693 7375246 7374308 7373503 7373656 7372050 7372442 7372500 7369166 7369183
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7月3日(木) -
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