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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7402312 能動的に焦点を合わせるレーザビームのレーザスクライビング処理およびプラズマエッチング処理を用いるハイブリッドウエハダイシング手法 2023年12月20日
特許 7401534 インシトゥ電磁誘導監視のためのエッジ再構成における基板ドーピングの補正 2023年12月19日
特許 7401560 裏側ポンピングを用いた熱処理チャンバのリッド 2023年12月19日
特許 7401593 空隙を形成するためのシステム及び方法 2023年12月19日
特許 7401654 均一性が改善される半導体処理装置 2023年12月19日
特許 7399964 リンをドープされた窒化ケイ素膜の堆積方法 2023年12月18日
特許 7399155 静電容量式剪断センサを備えた研磨システム 2023年12月15日
特許 7398423 モニタリングデバイスを有する処理ツール 2023年12月14日
特許 7398553 異なる基板のための共通静電チャック 2023年12月14日
特許 7398555 キャリア近接マスクのための方法および装置 2023年12月14日
特許 7398013 半導体装置及びクリーンルーム内の化学ガス汚染物質を測定するためのポータブルディスク 2023年12月13日
特許 7397186 FinFET形成のためのキャップ酸化 2023年12月12日
特許 7394771 光学装置改善のための湿潤層 2023年12月 8日
特許 7394887 薄膜トランジスタを形成する方法 2023年12月 8日
特許 7393437 完全にアライメント調整されたサブトラクティブプロセス及びその電子デバイス 2023年12月 6日

398 件中 16-30 件を表示

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7402312 7401534 7401560 7401593 7401654 7399964 7399155 7398423 7398553 7398555 7398013 7397186 7394771 7394887 7393437

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