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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第425位 82件 下降2014年:第383位 96件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第402位 64件 下降2014年:第284位 137件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5695011 寄生負荷最小化光学素子モジュール 2015年 4月 1日
特許 5689147 マイクロリソグラフィ投影光学系、ある機器を製造するための方法、光学面を設計する方法 2015年 3月25日
特許 5690827 光学表面の形状を測定する方法及び干渉測定デバイス 2015年 3月25日
特許 5684765 半導体リソグラフィー用のミラーアレンジメントを製造する方法、及び、電磁放射線の反射用のミラーアレンジメント 2015年 3月18日
特許 5685510 投影光学系 2015年 3月18日
特許 5686882 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2015年 3月18日
特許 5686901 投影露光システム及び投影露光方法 2015年 3月18日
特許 5684412 瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法 2015年 3月11日
特許 5684413 瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法 2015年 3月11日
特許 5681236 マイクロリソグラフィ投影露光装置のための投影対物レンズ 2015年 3月 4日
特許 5671243 投影露光方法、投影露光システム、及び投影対物系 2015年 2月18日
特許 5671621 調整機能を最適化した投影露光装置 2015年 2月18日
特許 5663064 光学素子ユニット及び光学素子の支持方法 2015年 2月 4日
特許 5661172 リソグラフィ系の光学要素の操作を含むリソグラフィ系を作動させる方法 2015年 1月28日
特許 5657101 マイクロリソグラフィ投影装置のための光学系 2015年 1月21日

65 件中 46-60 件を表示

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5695011 5689147 5690827 5684765 5685510 5686882 5686901 5684412 5684413 5681236 5671243 5671621 5663064 5661172 5657101

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