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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5695011	寄生負荷最小化光学素子モジュール	2015年 4月 1日
特許 5689147	マイクロリソグラフィ投影光学系、ある機器を製造するための方法、光学面を設計する方法	2015年 3月25日
特許 5690827	光学表面の形状を測定する方法及び干渉測定デバイス	2015年 3月25日
特許 5684765	半導体リソグラフィー用のミラーアレンジメントを製造する方法、及び、電磁放射線の反射用のミラーアレンジメント	2015年 3月18日
特許 5685510	投影光学系	2015年 3月18日
特許 5686882	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系	2015年 3月18日
特許 5686901	投影露光システム及び投影露光方法	2015年 3月18日
特許 5684412	瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法	2015年 3月11日
特許 5684413	瞳ミラーを有する反射屈折投影対物器械、投影露光装置及び方法	2015年 3月11日
特許 5681236	マイクロリソグラフィ投影露光装置のための投影対物レンズ	2015年 3月 4日
特許 5671243	投影露光方法、投影露光システム、及び投影対物系	2015年 2月18日
特許 5671621	調整機能を最適化した投影露光装置	2015年 2月18日
特許 5663064	光学素子ユニット及び光学素子の支持方法	2015年 2月 4日
特許 5661172	リソグラフィ系の光学要素の操作を含むリソグラフィ系を作動させる方法	2015年 1月28日
特許 5657101	マイクロリソグラフィ投影装置のための光学系	2015年 1月21日

65 件中 46-60 件を表示

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5695011 5689147 5690827 5684765 5685510 5686882 5686901 5684412 5684413 5681236 5671243 5671621 5663064 5661172 5657101

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