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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5781069	コーティングを有するマイクロミラー構成体及びコーティングを作製する方法	2015年 9月16日
特許 5768124	マスクによって生じる結像収差の補正を用いて投影露光装置を作動させる方法	2015年 8月26日
特許 5769285	マイクロリソグラフィのための照明光学ユニット及び露光装置	2015年 8月26日
特許 5769356	中間像を有するカタジオプトリック投影対物レンズ	2015年 8月26日
特許 5770627	反射性光学素子およびその製造方法	2015年 8月26日
特許 5767221	少なくとも２つの鏡面を有するミラーを製造する方法、マイクロリソグラフィ用投影露光装置のミラー、及び投影露光装置	2015年 8月19日
特許 5762051	マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学ラスタ要素、光学インテグレータ、及び照明系	2015年 8月12日
特許 5762579	遮光瞳を有する高開口率対物光学系	2015年 8月12日
特許 5759174	ＥＵＶマイクロリソグラフィのための照明光学ユニット	2015年 8月 5日
特許 5759234	反射光学要素、投影系及び投影露光装置	2015年 8月 5日
特許 5759967	液浸リソグラフィー用投影対物レンズ	2015年 8月 5日
特許 5755295	マイクロリソグラフィ露光装置においてマスクを照明するための照明系	2015年 7月29日
特許 5756121	結像光学系	2015年 7月29日
特許 5753260	マイクロリソグラフィ用の照明光学系及びこの種の照明光学系を有する投影露光系	2015年 7月22日
特許 5746259	反射コーティングを備えたミラー要素を有する投影対物系	2015年 7月 8日

65 件中 16-30 件を表示

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5781069 5768124 5769285 5769356 5770627 5767221 5762051 5762579 5759174 5759234 5759967 5755295 5756121 5753260 5746259

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