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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2015年 出願公開件数ランキング    第425位 82件 下降2014年:第383位 96件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第402位 64件 下降2014年:第284位 137件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5738370 複屈折を測定する測定法及び測定システム 2015年 6月24日
特許 5738410 ファセットミラーデバイス 2015年 6月24日
特許 5734334 少なくとも1つのマニピュレータを有する投影露光装置 2015年 6月17日
特許 5732071 複数の反射ファセット要素を有する光学要素 2015年 6月10日
特許 5726396 結像光学系 2015年 6月 3日
特許 5727005 光学系及びマルチファセットミラー 2015年 6月 3日
特許 5716038 EUVリソグラフィ用反射光学素子 2015年 5月13日
特許 5716091 マイクロリソグラフィ投影露光装置のマルチファセットミラー 2015年 5月13日
特許 5717513 投影リソグラフィ用の照明光学系 2015年 5月13日
特許 5714201 入射瞳のバック・フォーカスが負である投影対物レンズおよび投影露光装置 2015年 5月 7日
特許 5707319 多層コーティングを形成する方法、光学素子および光学装置 2015年 4月30日
特許 5709865 EUVまたはUVリソグラフィ装置の部材及びその製造方法 2015年 4月30日
特許 5710613 光学要素のための保持装置 2015年 4月30日
特許 5705182 反射屈折投影対物レンズ 2015年 4月22日
特許 5706519 マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 2015年 4月22日

65 件中 31-45 件を表示

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5738370 5738410 5734334 5732071 5726396 5727005 5716038 5716091 5717513 5714201 5707319 5709865 5710613 5705182 5706519

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