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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第425位 82件 (2014年:第383位 96件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第402位 64件 (2014年:第284位 137件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5738370 | 複屈折を測定する測定法及び測定システム | 2015年 6月24日 | |
特許 5738410 | ファセットミラーデバイス | 2015年 6月24日 | |
特許 5734334 | 少なくとも1つのマニピュレータを有する投影露光装置 | 2015年 6月17日 | |
特許 5732071 | 複数の反射ファセット要素を有する光学要素 | 2015年 6月10日 | |
特許 5726396 | 結像光学系 | 2015年 6月 3日 | |
特許 5727005 | 光学系及びマルチファセットミラー | 2015年 6月 3日 | |
特許 5716038 | EUVリソグラフィ用反射光学素子 | 2015年 5月13日 | |
特許 5716091 | マイクロリソグラフィ投影露光装置のマルチファセットミラー | 2015年 5月13日 | |
特許 5717513 | 投影リソグラフィ用の照明光学系 | 2015年 5月13日 | |
特許 5714201 | 入射瞳のバック・フォーカスが負である投影対物レンズおよび投影露光装置 | 2015年 5月 7日 | |
特許 5707319 | 多層コーティングを形成する方法、光学素子および光学装置 | 2015年 4月30日 | |
特許 5709865 | EUVまたはUVリソグラフィ装置の部材及びその製造方法 | 2015年 4月30日 | |
特許 5710613 | 光学要素のための保持装置 | 2015年 4月30日 | |
特許 5705182 | 反射屈折投影対物レンズ | 2015年 4月22日 | |
特許 5706519 | マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系 | 2015年 4月22日 |
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5738370 5738410 5734334 5732071 5726396 5727005 5716038 5716091 5717513 5714201 5707319 5709865 5710613 5705182 5706519
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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