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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第561位 54件 (2021年:第1005位 27件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第709位 35件 (2021年:第862位 24件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7015343 | 光学素子の傾斜 | 2022年 2月 2日 | |
特許 7003055 | 投影レンズのための減衰フィルタ、投影露光装置のための減衰フィルタを有する投影レンズ、及び投影レンズを有する投影露光装置 | 2022年 1月20日 | |
特許 6993941 | マイクロリソグラフィのための投影露光ツール及びマイクロリソグラフィ結像の方法 | 2022年 1月14日 | |
特許 6993995 | 線幅の変動に対するリソグラフィマスクの構造非依存寄与を決定する方法 | 2022年 1月14日 | |
特許 6987817 | EUV投影リソグラフィのための照明系及び照明光学ユニット | 2022年 1月 5日 | |
特許 6989602 | 微細構造化部品のマイクロリソグラフィ製造のための方法 | 2022年 1月 5日 |
36 件中 31-36 件を表示
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7015343 7003055 6993941 6993995 6987817 6989602
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