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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7080264	フォトリソグラフィマスク上の要素の位置を決定するための装置および方法	2022年 6月 3日
特許 7079281	反射光学素子を製造する方法、反射光学素子および反射光学素子の使用	2022年 6月 1日
特許 7077327	熱伝達を向上させた半導体リソグラフィ用の投影露光装置	2022年 5月30日
特許 7071327	ＥＵＶ投影リソグラフィのための投影光学ユニット	2022年 5月18日
特許 7071436	ＥＵＶ投影リソグラフィのための照明光学系及び照明系	2022年 5月18日
特許 7065131	フォトリソグラフィマスクを修復するための装置および方法	2022年 5月11日
特許 7063908	マイクロリソグラフィのための投影露光方法および投影露光装置	2022年 5月 9日
特許 7059262	ＥＵＶリソグラフィ用ミラーアレイのコンポーネント	2022年 4月25日
特許 7055144	組立誤差を特定する方法	2022年 4月15日
特許 7053925	光学面を研磨する方法及び光学素子	2022年 4月12日
特許 7051261	リソグラフィ装置のための位置決めシステム	2022年 4月11日
特許 7049357	５ｎｍ～２０ｎｍの波長域用の反射光学素子を補正する方法	2022年 4月 6日
特許 7029469	走査型プローブ顕微鏡のための装置および方法	2022年 3月 3日
特許 7023808	ＥＵＶ光学ユニットを有する計測システム	2022年 2月22日
特許 7018429	ＥＵＶリソグラフィ用の反射光学素子	2022年 2月10日

36 件中 16-30 件を表示

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7080264 7079281 7077327 7071327 7071436 7065131 7063908 7059262 7055144 7053925 7051261 7049357 7029469 7023808 7018429

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