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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第628位 47件
（
2022年：第561位 54件）
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第631位 40件
（
2022年：第709位 35件）
（ランキング更新日：2024年11月22日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7245173 | 瞳透過率の設定による投影露光方法および投影レンズ | 2023年 3月23日 | |
| 特許 7242642 | 投影リソグラフィ用の投影露光装置の光学系の光学コンポーネントとしてのミラーを製造する方法 | 2023年 3月20日 | |
| 特許 7235808 | 複数の個々に制御可能な書込ヘッドを含むリソグラフィ装置 | 2023年 3月 8日 | |
| 特許 7232326 | 粒子顕微鏡を用いる画像記録方法 | 2023年 3月 2日 | |
| 特許 7227234 | 干渉計測システムの補償光学系 | 2023年 2月21日 | |
| 特許 7223129 | 光学系、特にマイクロリソグラフィ用の光学系 | 2023年 2月15日 | |
| 特許 7216684 | ＥＵＶ光学ユニットを有する計測システム | 2023年 2月 1日 | |
| 特許 7208953 | ＥＵＶマイクロリソグラフィのための投影レンズ、投影露光装置、及び投影露光方法 | 2023年 1月19日 | |
| 特許 7204750 | ＥＵＶリソグラフィシステムの配置構成 | 2023年 1月16日 | |
| 特許 7199227 | 光学格子及び光学格子の光学アセンブリ | 2023年 1月 5日 |
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7245173 7242642 7235808 7232326 7227234 7223129 7216684 7208953 7204750 7199227
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