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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2023年 出願公開件数ランキング    第628位 47件 下降2022年:第561位 54件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第631位 40件 上昇2022年:第709位 35件)

(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7245173 瞳透過率の設定による投影露光方法および投影レンズ 2023年 3月23日
特許 7242642 投影リソグラフィ用の投影露光装置の光学系の光学コンポーネントとしてのミラーを製造する方法 2023年 3月20日
特許 7235808 複数の個々に制御可能な書込ヘッドを含むリソグラフィ装置 2023年 3月 8日
特許 7232326 粒子顕微鏡を用いる画像記録方法 2023年 3月 2日
特許 7227234 干渉計測システムの補償光学系 2023年 2月21日
特許 7223129 光学系、特にマイクロリソグラフィ用の光学系 2023年 2月15日
特許 7216684 EUV光学ユニットを有する計測システム 2023年 2月 1日
特許 7208953 EUVマイクロリソグラフィのための投影レンズ、投影露光装置、及び投影露光方法 2023年 1月19日
特許 7204750 EUVリソグラフィシステムの配置構成 2023年 1月16日
特許 7199227 光学格子及び光学格子の光学アセンブリ 2023年 1月 5日

40 件中 31-40 件を表示

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7245173 7242642 7235808 7232326 7227234 7223129 7216684 7208953 7204750 7199227

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