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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7316300	投影リソグラフィシステムのための瞳ファセットミラー、照明光学部品、および光学システム	2023年 7月27日
特許 7312264	動作環境における反射フォトリソグラフィマスクのパターン要素の配置を決定するためのデバイスおよびその方法	2023年 7月20日
特許 7306805	フォトリソグラフィマスクを検査する方法及び方法を実行するためのマスク計測装置	2023年 7月11日
特許 7305353	リソグラフィ装置の光学素子の位置測定	2023年 7月10日
特許 7300998	物体、ウェハ、及びマスクブランクの表面上の粒子を検出する方法	2023年 6月30日
特許 7296412	光学系及び光学系を用いてマスク欠陥を補正する方法	2023年 6月22日
特許 7296439	微細構造化部品のマイクロリソグラフィ製造のための方法	2023年 6月22日
特許 7288896	ウェハ保持デバイス及び投影マイクロリソグラフィシステム（ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎｍｉｃｒｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙｓｙｓｔｅｍ）	2023年 6月 8日
特許 7288447	コンポーネント調整を改良した半導体リソグラフィ用の投影露光装置及び調整方法	2023年 6月 7日
特許 7288046	光学素子の支持	2023年 6月 6日
特許 7284766	ＥＵＶマイクロリソグラフィ用の結像光学ユニット	2023年 5月31日
特許 7284781	ＥＵＶ放射線源、ＥＵＶ放射線源のためのインサート、および、ＥＵＶ放射線源のためのインサートのためのインサート	2023年 5月31日
特許 7280889	マスクを検査するための方法およびデバイス	2023年 5月24日
特許 7275035	反射屈折レンズと、そのようなレンズを含む光学システム	2023年 5月17日
特許 7275198	マイクロリソグラフィマスクを特徴付けるための装置および方法	2023年 5月17日

40 件中 16-30 件を表示

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7316300 7312264 7306805 7305353 7300998 7296412 7296439 7288896 7288447 7288046 7284766 7284781 7280889 7275035 7275198

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