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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6959989	荷電粒子の複数のビームを使用した装置	2021年11月 5日
特許 6957692	リソグラフィ装置	2021年11月 2日
特許 6957728	アライメント測定システム	2021年11月 2日
特許 6959339	検査装置および基板上のターゲット構造を測定する方法	2021年11月 2日
特許 6952844	極端紫外光源におけるターゲット膨張率制御	2021年10月27日
特許 6955117	振動絶縁システムおよびリソグラフィ装置	2021年10月27日
特許 6951415	基板保持デバイス、そのようなデバイスを製造するための方法、ならびに、サンプルを処理または像形成するための装置および方法	2021年10月20日
特許 6951495	メトロロジー方法、ターゲット、及び基板	2021年10月20日
特許 6952136	リソグラフィの方法及び装置	2021年10月20日
特許 6952606	冷却装置及びその使用方法並びにリソグラフィ装置	2021年10月20日
特許 6949908	レーザ作動光源	2021年10月13日
特許 6949961	フィードスルーデバイス及び信号導体経路構成	2021年10月13日
特許 6950078	オーバーレイを推定するための方法	2021年10月13日
特許 6944010	極端紫外線光源用のターゲット	2021年10月 6日
特許 6944565	ＲＦプラズマ電界を使用したＥＵＶ光学部品のアクティブ洗浄装置および方法	2021年10月 6日

123 件中 16-30 件を表示

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6959989 6957692 6957728 6959339 6952844 6955117 6951415 6951495 6952136 6952606 6949908 6949961 6950078 6944010 6944565

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