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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2023年 出願公開件数ランキング    第242位 151件 下降2022年:第222位 169件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第238位 146件 上昇2022年:第259位 122件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7354317 リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 2023年10月 2日
特許 7353380 反射回折格子の製造 2023年 9月29日
特許 7350776 EUVリソグラフィのためのペリクル 2023年 9月26日
特許 7350906 リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ 2023年 9月26日
特許 7343511 放射源 2023年 9月12日
特許 7340524 EUVチャンバにおける構造物表面の洗浄 2023年 9月 7日
特許 7340609 投影システム及び投影システムを備えるリソグラフィ装置 2023年 9月 7日
特許 7340058 ダンパーデバイスを製造する方法 2023年 9月 6日
特許 7337819 EUVリソグラフィシステムにおける光学素子寿命の延長 2023年 9月 4日
特許 7335336 リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法 2023年 8月29日
特許 7334165 センサシステム 2023年 8月28日
特許 7334324 マーク測定シーケンスの判定方法、ステージ装置、及びリソグラフィ装置 2023年 8月28日
特許 7334328 温度調整システム 2023年 8月28日
特許 7331096 光ファイバ及びその生産方法 2023年 8月22日
特許 7331129 内蔵電圧発生器を備えたMEMS画像形成素子 2023年 8月22日

148 件中 31-45 件を表示

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7354317 7353380 7350776 7350906 7343511 7340524 7340609 7340058 7337819 7335336 7334165 7334324 7334328 7331096 7331129

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