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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第242位 151件 (2022年:第222位 169件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第238位 146件 (2022年:第259位 122件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7354317 | リソグラフィ装置のための流体ハンドリング構造 | 2023年10月 2日 | |
特許 7353380 | 反射回折格子の製造 | 2023年 9月29日 | |
特許 7350776 | EUVリソグラフィのためのペリクル | 2023年 9月26日 | |
特許 7350906 | リソグラフィ装置において使用される基板ホルダ | 2023年 9月26日 | |
特許 7343511 | 放射源 | 2023年 9月12日 | |
特許 7340524 | EUVチャンバにおける構造物表面の洗浄 | 2023年 9月 7日 | |
特許 7340609 | 投影システム及び投影システムを備えるリソグラフィ装置 | 2023年 9月 7日 | |
特許 7340058 | ダンパーデバイスを製造する方法 | 2023年 9月 6日 | |
特許 7337819 | EUVリソグラフィシステムにおける光学素子寿命の延長 | 2023年 9月 4日 | |
特許 7335336 | リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法 | 2023年 8月29日 | |
特許 7334165 | センサシステム | 2023年 8月28日 | |
特許 7334324 | マーク測定シーケンスの判定方法、ステージ装置、及びリソグラフィ装置 | 2023年 8月28日 | |
特許 7334328 | 温度調整システム | 2023年 8月28日 | |
特許 7331096 | 光ファイバ及びその生産方法 | 2023年 8月22日 | |
特許 7331129 | 内蔵電圧発生器を備えたMEMS画像形成素子 | 2023年 8月22日 |
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7354317 7353380 7350776 7350906 7343511 7340524 7340609 7340058 7337819 7335336 7334165 7334324 7334328 7331096 7331129
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11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
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11月28日(木) -
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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