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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．

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エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7376518	位置決め及びクランプ硬化のための装置	2023年11月 8日
特許 7376604	放射システム	2023年11月 8日
特許 7375109	干渉計における周期誤差の測定および校正の手順	2023年11月 7日
特許 7375226	光学測定システムおよび光学測定システムのキャリブレーションのための方法	2023年11月 7日
特許 7369753	リソグラフィ装置のオブジェクトを保持するためのチャック及びクランプ、並びにリソグラフィ装置のクランプによって保持されるオブジェクトの温度を制御する方法	2023年10月26日
特許 7368363	グラフェンペリクルリソグラフィ装置	2023年10月24日
特許 7366913	ＥＵＶ光源内のデブリを制御するための装置及び方法	2023年10月23日
特許 7366979	光学アイソレーションモジュール	2023年10月23日
特許 7366153	低クロストークを有する多重荷電粒子ビーム装置	2023年10月20日
特許 7365510	基板上の周期構造を測定するための計測方法およびデバイス	2023年10月19日
特許 7364323	計測装置及び基板ステージ・ハンドラ・システム	2023年10月18日
特許 7362741	オブジェクトテーブル	2023年10月17日
特許 7362744	レイアウトパターン選択の方法及び装置	2023年10月17日
特許 7358545	複数の荷電粒子ビームを用いてサンプルを検査する方法	2023年10月10日
特許 7356439	光ビームの空間変調	2023年10月 4日

148 件中 16-30 件を表示

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7376518 7376604 7375109 7375226 7369753 7368363 7366913 7366979 7366153 7365510 7364323 7362741 7362744 7358545 7356439

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