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東京エレクトロン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7749731 処理装置及び処理方法 2025年10月 6日
特許 7749815 基板処理装置、および基板処理方法 2025年10月 6日
特許 7749883 プラズマ処理装置及びバイアス電源システム 2025年10月 6日
特許 7748636 液体循環システム、基板処理装置及び液体循環方法 2025年10月 3日
特許 7748898 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2025年10月 3日
特許 7749003 基板処理装置および搬送方法 2025年10月 3日
特許 7749016 基板処理装置及び基板処理方法 2025年10月 3日
特許 7749165 基板処理装置 2025年10月 3日
特許 7748184 周縁部処理装置及び周縁部処理方法 2025年10月 2日
特許 7748326 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2025年10月 2日
特許 7748520 基板処理方法、記憶媒体、及び基板処理装置 2025年10月 2日
特許 7747415 処理方法 2025年10月 1日
特許 7747416 基板処理装置 2025年10月 1日
特許 7747417 プラズマ処理装置、およびプラズマ処理装置の製造方法 2025年10月 1日
特許 7747418 基板処理装置、および基板処理方法 2025年10月 1日

686 件中 16-30 件を表示

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7749731 7749815 7749883 7748636 7748898 7749003 7749016 7749165 7748184 7748326 7748520 7747415 7747416 7747417 7747418

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