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東京エレクトロン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7725310 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 8月19日
特許 7725328 支持装置、検査システム及び支持装置の制御方法 2025年 8月19日
特許 7725385 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2025年 8月19日
特許 7725413 基板処理方法及び基板処理装置 2025年 8月19日
特許 7725518 基板処理装置及び載置台 2025年 8月19日
特許 7724603 接合装置および接合方法 2025年 8月18日
特許 7724661 成膜方法および成膜装置 2025年 8月18日
特許 7724668 基板載置機構、検査装置、および検査方法 2025年 8月18日
特許 7724698 原料ガス供給方法および原料ガス供給機構、ならびに成膜システム 2025年 8月18日
特許 7724939 基板支持台、プラズマ処理システム及び環状部材の取り付け方法 2025年 8月18日
特許 7723918 処理ツール用シャワーヘッド 2025年 8月15日
特許 7724040 基板処理装置 2025年 8月15日
特許 7724062 成膜装置及び成膜方法 2025年 8月15日
特許 7724125 処理液供給装置及び処理液供給方法 2025年 8月15日
特許 7724281 エッチング方法及びエッチング装置 2025年 8月15日

582 件中 31-45 件を表示

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7725310 7725328 7725385 7725413 7725518 7724603 7724661 7724668 7724698 7724939 7723918 7724040 7724062 7724125 7724281

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