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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 723件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7581034 加熱装置及びLEDの制御方法 2024年11月12日
特許 7581091 基板処理装置および基板処理方法 2024年11月12日
特許 7581374 基板処理システム及び基板処理方法 2024年11月12日
特許 7581467 基板処理装置および導電性配管劣化度合い判定方法 2024年11月12日
特許 7581498 基板液処理方法及び記録媒体 2024年11月12日
特許 7580186 基板処理装置 2024年11月11日
特許 7580263 表示装置、表示方法、及び記憶媒体 2024年11月11日
特許 7580264 基板処理方法 2024年11月11日
特許 7580277 処理液供給装置及び処理液排出方法 2024年11月11日
特許 7580320 基板処理装置および温度制御方法 2024年11月11日
特許 7580321 計測装置、基板処理装置、及び計測方法 2024年11月11日
特許 7580327 ボーイングを抑制するための保護側壁層を形成する方法及び装置 2024年11月11日
特許 7580328 プラズマ処理装置 2024年11月11日
特許 7580534 フィルタ洗浄システム、フィルタ洗浄方法および減圧機構 2024年11月11日
特許 7580592 プラズマモニタシステム、プラズマモニタ方法およびモニタ装置 2024年11月11日

730 件中 31-45 件を表示

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7581034 7581091 7581374 7581467 7581498 7580186 7580263 7580264 7580277 7580320 7580321 7580327 7580328 7580534 7580592

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