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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第21位 679件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7746343 プラズマ処理装置、エッチング方法、半導体デバイスの製造方法、プログラム及び記憶媒体 2025年 9月30日
特許 7746487 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 9月30日
特許 7746536 チップ貼合装置、チップ処理システムおよびチップ処理方法 2025年 9月30日
特許 7746601 ドライ現像方法及びドライ現像装置 2025年 9月30日
特許 7745414 基板支持部及びプラズマ処理装置 2025年 9月29日
特許 7745685 プラズマ処理装置 2025年 9月29日
特許 7745705 プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、及び記憶媒体 2025年 9月29日
特許 7745710 処理液吐出ノズル、ノズルアーム、基板処理装置、および基板処理方法 2025年 9月29日
特許 7744634 カーボン膜の形成方法及び半導体装置の製造方法 2025年 9月26日
特許 7745013 基板処理システム 2025年 9月26日
特許 7745014 基板処理方法 2025年 9月26日
特許 7745050 ノズルユニット、液処理装置及び液処理方法 2025年 9月26日
特許 7743708 基板を搬送する装置、基板を処理するシステム及び基板の搬送を行う方法 2025年 9月25日
特許 7744101 液滴吐出装置、パラメータ算出方法、基板処理システム 2025年 9月25日
特許 7744102 成膜方法及び成膜装置 2025年 9月25日

686 件中 31-45 件を表示

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7746343 7746487 7746536 7746601 7745414 7745685 7745705 7745710 7744634 7745013 7745014 7745050 7743708 7744101 7744102

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