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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第21位 679件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7743141 空間原子層堆積 2025年 9月24日
特許 7743144 半導体デバイス用の、選択された分極を有する誘電体材料を形成する方法 2025年 9月24日
特許 7743379 基板処理装置及び基板処理装置のメンテナンス方法 2025年 9月24日
特許 7742328 処理方法及び処理システム 2025年 9月19日
特許 7742438 熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 2025年 9月19日
特許 7739856 基板に成膜を行う装置及び基板に成膜を行う方法 2025年 9月17日
特許 7740042 基板の表面にルテニウムシリサイド膜を形成する方法、及び装置 2025年 9月17日
特許 7740452 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 9月17日
特許 7740821 成膜装置 2025年 9月17日
特許 7740822 プラズマ処理装置及び成膜方法 2025年 9月17日
特許 7740823 流量計校正システム、基板処理装置および流量計校正方法 2025年 9月17日
特許 7740827 スパッタ成膜装置及びスパッタ成膜方法 2025年 9月17日
特許 7740828 交換装置、処理装置、及び交換方法 2025年 9月17日
特許 7740832 加工装置、及び加工方法 2025年 9月17日
特許 7740840 着火制御方法、成膜方法及び成膜装置 2025年 9月17日

686 件中 46-60 件を表示

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7743141 7743144 7743379 7742328 7742438 7739856 7740042 7740452 7740821 7740822 7740823 7740827 7740828 7740832 7740840

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