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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 215件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7648310 収容容器及び基板状センサの充電方法 2025年 3月18日
特許 7648498 制御プログラム、制御方法、及びプラズマ処理装置 2025年 3月18日
特許 7648700 トレイ 2025年 3月18日
特許 7646847 基板処理方法および基板処理装置 2025年 3月17日
特許 7646868 プラズマ処理装置、制御方法、電源システム、プログラム、及び記憶媒体 2025年 3月17日
特許 7646917 基板処理装置、及び基板処理方法 2025年 3月17日
特許 7645694 プラズマ処理装置 2025年 3月14日
特許 7645699 基板処理装置 2025年 3月14日
特許 7645724 プラズマ処理装置及び基板支持部 2025年 3月14日
特許 7645732 プラズマ処理装置及び処理方法 2025年 3月14日
特許 7645828 基板処理装置および基板温度補正方法 2025年 3月14日
特許 7645963 プラズマ処理装置 2025年 3月14日
特許 7645030 多次元レーザアニーリングを用いた高密度ロジック形成 2025年 3月13日
特許 7645031 分注システムを監視、制御及び同期するための方法及びシステム 2025年 3月13日
特許 7645032 効率化した気化器コア 2025年 3月13日

222 件中 46-60 件を表示

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7648310 7648498 7648700 7646847 7646868 7646917 7645694 7645699 7645724 7645732 7645828 7645963 7645030 7645031 7645032

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