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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第21位 316件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7667933 狭小トレンチを形成する方法 2025年 4月24日
特許 7667981 高度回路アーキテクチャのための高密度ロジック及びメモリの製造方法 2025年 4月24日
特許 7668093 成膜方法、成膜装置、および半導体装置の製造方法 2025年 4月24日
特許 7668157 基板支持器、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 2025年 4月24日
特許 7668168 プラズマ処理装置のチャンバ内の部品を再生する方法 2025年 4月24日
特許 7668413 基板処理システム 2025年 4月24日
特許 7666133 カップ、液処理装置及び液処理方法 2025年 4月22日
特許 7666234 基板に成膜処理を行う装置、及び基板に成膜処理を行う装置から処理ガスを排気する方法 2025年 4月22日
特許 7666864 シリコン窒化膜の形成方法及び成膜装置 2025年 4月22日
特許 7666866 デバイス検査装置及びデバイス検査方法 2025年 4月22日
特許 7666868 検査システムの検査方法、および検査システム 2025年 4月22日
特許 7667060 プラズマ処理方法及びプラズマ処理システム 2025年 4月22日
特許 7665312 基板処理方法および基板処理装置 2025年 4月21日
特許 7665464 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 4月21日
特許 7665757 現像処理装置及び現像処理方法 2025年 4月21日

323 件中 61-75 件を表示

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7667933 7667981 7668093 7668157 7668168 7668413 7666133 7666234 7666864 7666866 7666868 7667060 7665312 7665464 7665757

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