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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第22位 801件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7770107 基板処理装置および基板処理方法 2025年11月14日
特許 7770157 被処理体の搬送方法および処理装置 2025年11月14日
特許 7770495 接合装置 2025年11月14日
特許 7770557 基板処理装置、および基板処理方法 2025年11月14日
特許 7770611 壁部材およびプラズマ処理装置 2025年11月14日
特許 7769538 基板支持台及びリングの交換方法 2025年11月13日
特許 7769735 異物検出装置、基板処理装置、異物検出方法、及び記憶媒体 2025年11月13日
特許 7768645 成膜装置、および成膜装置のクリーニング方法 2025年11月12日
特許 7768646 基板処理方法、および基板処理装置 2025年11月12日
特許 7768647 予測装置、検査システム、予測方法及び予測プログラム 2025年11月12日
特許 7768648 検査装置、および検査方法 2025年11月12日
特許 7768649 成膜方法及び処理装置 2025年11月12日
特許 7768651 基板処理装置 2025年11月12日
特許 7768652 基板処理方法及び基板処理装置 2025年11月12日
特許 7768656 温度センサ及びプラズマ処理装置 2025年11月12日

809 件中 61-75 件を表示

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7770107 7770157 7770495 7770557 7770611 7769538 7769735 7768645 7768646 7768647 7768648 7768649 7768651 7768652 7768656

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