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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年9月17日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
再表 2018-135488 異物検出装置、異物検出方法及び記憶媒体 2019年12月26日
再表 2018-163913 コンタクトパッドの製造方法及びこれを用いた半導体装置の製造方法、並びに半導体装置 2019年12月26日
特開 2019-218593 金属膜の形成方法及び成膜装置 2019年12月26日
特開 2019-218616 制御装置、成膜装置、制御方法、成膜方法、および制御プログラム 2019年12月26日
特開 2019-218621 基板載置台及び成膜装置 2019年12月26日
特開 2019-219561 マイクロレンズの製造方法およびプラズマ処理装置 2019年12月26日
特開 2019-220282 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年12月26日
特開 2019-220289 有機ELパネル、および有機ELパネルの製造方法 2019年12月26日
特開 2019-220435 プラズマ処理装置及びプラズマを生成する方法 2019年12月26日
特開 2019-220497 載置台及びプラズマ処理装置 2019年12月26日
特開 2019-220508 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2019年12月26日
特開 2019-220509 真空処理装置、真空処理システム、及び真空処理方法 2019年12月26日
特開 2019-220510 塗布膜形成方法及び塗布膜形成装置 2019年12月26日
特開 2019-220515 基板処理装置 2019年12月26日
特開 2019-220517 基板処理装置および基板処理方法 2019年12月26日

665 件中 1-15 件を表示

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2018-135488 2018-163913 2019-218593 2019-218616 2019-218621 2019-219561 2019-220282 2019-220289 2019-220435 2019-220497 2019-220508 2019-220509 2019-220510 2019-220515 2019-220517

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