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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(2019年:第58位 415件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6803701 | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 | 2020年12月23日 | |
特許 6803755 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2020年12月23日 | |
特許 6803815 | 基板処理装置、及び、基板処理装置の運用方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804249 | 塗布装置、塗布方法、および有機ELディスプレイ | 2020年12月23日 | |
特許 6804250 | 減圧乾燥装置、および減圧乾燥方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804270 | 基板処理装置、および基板処理方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804277 | 処理方法および処理装置 | 2020年12月23日 | |
特許 6804278 | 超臨界流体製造装置および基板処理装置 | 2020年12月23日 | |
特許 6804280 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804309 | 熱処理装置及び温度制御方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804325 | 液処理装置 | 2020年12月23日 | |
特許 6804353 | ウエハ検査装置及びウエハ検査装置の診断方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6804392 | プラズマ処理装置及びガスシャワーヘッド | 2020年12月23日 | |
特許 6805017 | 塗布装置、および塗布方法 | 2020年12月23日 | |
特許 6805018 | 塗布装置、および塗布方法 | 2020年12月23日 |
443 件中 1-15 件を表示
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6803701 6803755 6803815 6804249 6804250 6804270 6804277 6804278 6804280 6804309 6804325 6804353 6804392 6805017 6805018
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