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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第47位 199件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第75位 97件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年4月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6675260 変圧器、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法 2020年 4月 1日
特許 6670625 プラズマ処理装置及びシャワーヘッド 2020年 3月25日
特許 6670672 エッチング方法 2020年 3月25日
特許 6670691 基板検査装置 2020年 3月25日
特許 6670697 プラズマ処理装置 2020年 3月25日
特許 6670707 基板処理方法 2020年 3月25日
特許 6670713 基板処理装置及び基板搬送方法 2020年 3月25日
特許 6670791 流量制御器を検査する方法及び被処理体を処理する方法 2020年 3月25日
特許 6671166 絶縁膜積層体の製造方法 2020年 3月25日
特許 6671230 プラズマ処理装置およびガス導入機構 2020年 3月25日
特許 6671262 窒化膜の形成方法および形成装置 2020年 3月25日
特許 6671459 基板洗浄装置 2020年 3月25日
特許 6671464 処理装置のメンテナンス制御方法及び制御装置 2020年 3月25日
特許 6671993 基板受け渡し位置の教示方法及び基板処理システム 2020年 3月25日
特許 6672967 現像方法、現像装置及び記憶媒体 2020年 3月25日

98 件中 1-15 件を表示

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6675260 6670625 6670672 6670691 6670697 6670707 6670713 6670791 6671166 6671230 6671262 6671459 6671464 6671993 6672967

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