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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 386件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第64位 194件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年7月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6714978 プラズマ処理装置用の部品、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理装置用の部品の製造方法 2020年 7月 1日
特許 6715129 プラズマ処理装置 2020年 7月 1日
特許 6715415 メモリフィンパターンを形成するための方法及びシステム 2020年 7月 1日
特許 6715416 基板への周期的オルガノシリケートまたは自己組織化モノレイヤのスピンオンコーティングのためのシステムおよび方法 2020年 7月 1日
特許 6715433 シリカ堆積なしに窒化物構造体を処理するためのプロセス及び装置窒化物構造体を処理するためのプロセス及び装置 2020年 7月 1日
特許 6717081 基板の欠陥検査装置、基板欠陥検査用の感度パラメータ値の調整方法及び記憶媒体 2020年 7月 1日
特許 6712939 静電容量測定用の測定器、及び、測定器を用いて処理システムにおける搬送位置データを較正する方法 2020年 6月24日
特許 6714432 磁場印加装置および半導体装置の製造装置 2020年 6月24日
特許 6710089 タングステン膜の成膜方法 2020年 6月17日
特許 6710130 基板処理装置 2020年 6月17日
特許 6710134 ガス導入機構及び処理装置 2020年 6月17日
特許 6710149 基板処理装置 2020年 6月17日
特許 6710153 ネジ落下防止機構及び熱処理装置 2020年 6月17日
特許 6710154 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 6月17日
特許 6710518 搬送装置及び補正方法 2020年 6月17日

197 件中 1-15 件を表示

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