特許ランキング - 出願人詳細情報 -
東京エレクトロン株式会社
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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第47位 199件
（
2019年：第58位 660件）
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第75位 97件
（
2019年：第58位 415件）
（ランキング更新日：2020年4月2日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6675260 | 変圧器、プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理方法 | 2020年 4月 1日 | |
| 特許 6670625 | プラズマ処理装置及びシャワーヘッド | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6670672 | エッチング方法 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6670691 | 基板検査装置 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6670697 | プラズマ処理装置 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6670707 | 基板処理方法 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6670713 | 基板処理装置及び基板搬送方法 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6670791 | 流量制御器を検査する方法及び被処理体を処理する方法 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6671166 | 絶縁膜積層体の製造方法 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6671230 | プラズマ処理装置およびガス導入機構 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6671262 | 窒化膜の形成方法および形成装置 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6671459 | 基板洗浄装置 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6671464 | 処理装置のメンテナンス制御方法及び制御装置 | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6671993 | 基板受け渡し位置の教示方法及び基板処理システム | 2020年 3月25日 | |
| 特許 6672967 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 | 2020年 3月25日 |
98 件中 1-15 件を表示
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6675260 6670625 6670672 6670691 6670697 6670707 6670713 6670791 6671166 6671230 6671262 6671459 6671464 6671993 6672967
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