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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5781988 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年 9月24日
特許 5782226 基板処理装置 2015年 9月24日
特許 5782293 プラズマ生成用電極およびプラズマ処理装置 2015年 9月24日
特許 5785152 化学気相成長法 2015年 9月24日
特許 5778132 成膜装置 2015年 9月16日
特許 5778911 水滅菌装置及び水滅菌方法 2015年 9月16日
特許 5779168 周縁部塗布装置、周縁部塗布方法及び周縁部塗布用記録媒体 2015年 9月16日
特許 5779439 前処理方法及びカーボンナノチューブの形成方法 2015年 9月16日
特許 5779957 ローディングユニット及び処理システム 2015年 9月16日
特許 5780062 基板処理装置及び成膜装置 2015年 9月16日
特許 5780695 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法及び薄膜形成装置 2015年 9月16日
特許 5780981 ゲルマニウム薄膜の成膜方法 2015年 9月16日
特許 5774532 連続処理システム、連続処理方法、及び、プログラム 2015年 9月 9日
特許 5775705 カーボンナノチューブの形成方法及び前処理方法 2015年 9月 9日
特許 5775851 塗布装置および塗布液充填方法 2015年 9月 9日

439 件中 121-135 件を表示

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5781988 5782226 5782293 5785152 5778132 5778911 5779168 5779439 5779957 5780062 5780695 5780981 5774532 5775705 5775851

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