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東京エレクトロン株式会社
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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第61位 616件
（
2015年：第56位 677件）
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第49位 561件
（
2015年：第51位 433件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5973173 | 熱処理装置及び熱処理装置の制御方法 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5973731 | プラズマ処理装置及びヒータの温度制御方法 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5973763 | 自己組織化可能なブロック・コポリマーを用いて周期パターン形成する方法及び装置 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5973840 | 離脱制御方法及びプラズマ処理装置 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5973901 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5975128 | 基板処理装置、基板処理方法 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5976377 | 被処理基体に対する微粒子付着の制御方法、及び、処理装置 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5976501 | 流体加熱装置、その運転制御方法、流体加熱装置を備えた基板処理システム、および記憶媒体 | 2016年 8月23日 | |
| 特許 5969306 | Ｃｕ配線の形成方法 | 2016年 8月17日 | |
| 特許 5969663 | 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 | 2016年 8月17日 | |
| 特許 5970004 | 半導体装置の製造方法 | 2016年 8月17日 | |
| 特許 5970040 | 温度制御システム及び温度制御方法 | 2016年 8月17日 | |
| 特許 5970102 | 液処理装置 | 2016年 8月17日 | |
| 特許 5970218 | プローブ装置 | 2016年 8月17日 | |
| 特許 5971144 | 基板処理装置及び成膜方法 | 2016年 8月17日 |
572 件中 256-270 件を表示
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5973173 5973731 5973763 5973840 5973901 5975128 5976377 5976501 5969306 5969663 5970004 5970040 5970102 5970218 5971144
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