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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5954108 基板処理装置 2016年 7月20日
特許 5954125 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2016年 7月20日
特許 5954195 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2016年 7月20日
特許 5954202 成膜装置 2016年 7月20日
特許 5954239 液処理方法 2016年 7月20日
特許 5954266 塗布膜形成装置 2016年 7月20日
特許 5955062 プラズマ処理装置 2016年 7月20日
特許 5955520 マイクロ波処理装置およびその制御方法 2016年 7月20日
特許 5955766 基板処理装置および基板処理方法 2016年 7月20日
特許 5950878 ボトル交換装置、基板処理装置、及び、ボトル交換方法 2016年 7月13日
特許 5951324 プラズマ処理装置 2016年 7月13日
特許 5951377 液処理装置及び液処理方法 2016年 7月13日
特許 5951384 温度制御システムへの温調流体供給方法及び記憶媒体 2016年 7月13日
特許 5951444 基板処理装置および基板処理方法 2016年 7月13日
特許 5951889 基板処理装置 2016年 7月13日

572 件中 301-315 件を表示

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5954108 5954125 5954195 5954202 5954239 5954266 5955062 5955520 5955766 5950878 5951324 5951377 5951384 5951444 5951889

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