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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5965680 処理室内部品の冷却方法、処理室内部品冷却プログラム、及び記憶媒体 2016年 8月10日
特許 5965729 ノズル洗浄装置、ノズル洗浄方法および基板処理装置 2016年 8月10日
特許 5966618 成膜方法 2016年 8月10日
特許 5966649 熱処理装置 2016年 8月10日
特許 5967045 処理液供給装置及び処理液供給方法 2016年 8月10日
特許 5968130 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2016年 8月10日
特許 5968225 切り換え可能な中性ビーム源 2016年 8月10日
特許 5968657 めっき処理方法、めっき処理システムおよび記憶媒体 2016年 8月10日
特許 5963784 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2016年 8月 3日
特許 5963785 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2016年 8月 3日
特許 5964372 液処理装置および液処理方法 2016年 8月 3日
特許 5964635 操作制限装置、操作制限方法及びコンピュータプログラム 2016年 8月 3日
特許 5959806 基板処理方法、この基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体、および基板処理装置 2016年 8月 2日
特許 5959914 基板処理システム、基板搬送方法および記憶媒体 2016年 8月 2日
特許 5959991 タングステン膜の成膜方法 2016年 8月 2日

572 件中 271-285 件を表示

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5965680 5965729 5966618 5966649 5967045 5968130 5968225 5968657 5963784 5963785 5964372 5964635 5959806 5959914 5959991

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