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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5960028 熱処理装置 2016年 8月 2日
特許 5960101 ボトルキャップ、ボトルキャップ交換装置、及び、ボトルキャップ交換方法 2016年 8月 2日
特許 5960270 組み合わされたシリコン酸化膜エッチング及び汚染物除去プロセス 2016年 8月 2日
特許 5960389 半導体集積回路チップを分離および搬送する方法 2016年 8月 2日
特許 5960758 基板処理システムおよび基板処理装置 2016年 8月 2日
特許 5961535 基板液処理方法、基板液処理システムおよび記憶媒体 2016年 8月 2日
特許 5956324 搬送基台及び搬送システム 2016年 7月27日
特許 5956933 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2016年 7月27日
特許 5956946 液処理装置および液処理方法 2016年 7月27日
特許 5956972 成膜方法 2016年 7月27日
特許 5956975 液処理装置及び液処理方法 2016年 7月27日
特許 5958231 縦型熱処理装置 2016年 7月27日
特許 5953951 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置の運転方法 2016年 7月20日
特許 5953994 成膜装置及び成膜方法 2016年 7月20日
特許 5954096 液処理装置 2016年 7月20日

572 件中 286-300 件を表示

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5960028 5960101 5960270 5960389 5960758 5961535 5956324 5956933 5956946 5956972 5956975 5958231 5953951 5953994 5954096

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