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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5916044 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2016年 5月11日
特許 5916056 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2016年 5月11日
特許 5916467 マイクロ波放射アンテナ、マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 2016年 5月11日
特許 5916534 成膜装置 2016年 5月11日
特許 5916608 ロードロック装置 2016年 5月11日
特許 5916744 コバルト系膜形成方法 2016年 5月11日
特許 5917297 めっき処理方法、めっき処理装置および記憶媒体 2016年 5月11日
特許 5917351 金属膜の成膜方法 2016年 5月11日
特許 5910401 処理液供給装置の運転方法、処理液供給装置及び記憶媒体 2016年 4月27日
特許 5911032 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2016年 4月27日
特許 5911757 基板処理方法、基板処理装置、および記録媒体 2016年 4月27日
特許 5911844 半導体装置のための金属含有キャップ層の表面洗浄及び選択的堆積 2016年 4月27日
特許 5912403 塗布処理装置 2016年 4月27日
特許 5912439 温度制御システム、半導体製造装置及び温度制御方法 2016年 4月27日
特許 5912637 半導体装置の製造方法 2016年 4月27日

572 件中 391-405 件を表示

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5916044 5916056 5916467 5916534 5916608 5916744 5917297 5917351 5910401 5911032 5911757 5911844 5912403 5912439 5912637

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