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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5912747 ガス吐出機能付電極およびプラズマ処理装置 2016年 4月27日
特許 5913053 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年 4月27日
特許 5913079 成膜方法 2016年 4月27日
特許 5913162 基板保持装置および基板保持方法 2016年 4月27日
特許 5913167 液処理装置および洗浄方法 2016年 4月27日
特許 5913463 Ge−Sb−Te膜の成膜方法 2016年 4月27日
特許 5913492 液処理装置 2016年 4月27日
特許 5907681 基板受け渡し方法 2016年 4月26日
特許 5908001 基板処理装置 2016年 4月26日
特許 5909218 基板液処理装置 2016年 4月26日
特許 5909453 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 2016年 4月26日
特許 5909477 基板処理装置及び液供給装置 2016年 4月26日
特許 5905407 シート剥離装置、接合システム、剥離システム、シート剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年 4月20日
特許 5905509 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年 4月20日
特許 5905735 基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法 2016年 4月20日

572 件中 406-420 件を表示

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5912747 5913053 5913079 5913162 5913167 5913463 5913492 5907681 5908001 5909218 5909453 5909477 5905407 5905509 5905735

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