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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第61位 616件
(2015年:第56位 677件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第49位 561件
(2015年:第51位 433件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5912747 | ガス吐出機能付電極およびプラズマ処理装置 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913053 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913079 | 成膜方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913162 | 基板保持装置および基板保持方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913167 | 液処理装置および洗浄方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913463 | Ge−Sb−Te膜の成膜方法 | 2016年 4月27日 | |
特許 5913492 | 液処理装置 | 2016年 4月27日 | |
特許 5907681 | 基板受け渡し方法 | 2016年 4月26日 | |
特許 5908001 | 基板処理装置 | 2016年 4月26日 | |
特許 5909218 | 基板液処理装置 | 2016年 4月26日 | |
特許 5909453 | 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 | 2016年 4月26日 | |
特許 5909477 | 基板処理装置及び液供給装置 | 2016年 4月26日 | |
特許 5905407 | シート剥離装置、接合システム、剥離システム、シート剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2016年 4月20日 | |
特許 5905509 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2016年 4月20日 | |
特許 5905735 | 基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法 | 2016年 4月20日 |
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5912747 5913053 5913079 5913162 5913167 5913463 5913492 5907681 5908001 5909218 5909453 5909477 5905407 5905509 5905735
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