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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6196739 原子層堆積を用いずに自己整合ダブルパターニングを行う方法 2017年 9月13日
特許 6196890 蓋部材開閉機構及び基板検査装置 2017年 9月13日
特許 6196920 グラフェン加工方法 2017年 9月13日
特許 6196925 薄膜形成装置の立ち上げ方法、及び、薄膜形成装置 2017年 9月13日
特許 6192595 半導体製造用処理液配管継手 2017年 9月 6日
特許 6193679 ガス分流供給装置及びガス分流供給方法 2017年 9月 6日
特許 6189161 乾燥装置、乾燥処理方法、基板ホルダ及び溶媒吸着シート 2017年 8月30日
特許 6189257 基板液処理装置及び基板液処理方法 2017年 8月30日
特許 6189780 基板処理システム 2017年 8月30日
特許 6189781 熱処理装置、熱処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2017年 8月30日
特許 6190212 ブロック共重合体のエッチング 2017年 8月30日
特許 6190278 熱交換システム及び同熱交換システムを有する基板処理装置 2017年 8月30日
特許 6190571 プラズマ処理装置 2017年 8月30日
特許 6190645 基板搬送方法 2017年 8月30日
特許 6183137 液処理装置 2017年 8月23日

440 件中 136-150 件を表示

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6196739 6196890 6196920 6196925 6192595 6193679 6189161 6189257 6189780 6189781 6190212 6190278 6190571 6190645 6183137

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