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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6378234 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2018年 8月22日
特許 6378294 基板洗浄装置、基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 2018年 8月22日
特許 6378389 プラズマ処理装置用の部品の製造方法 2018年 8月22日
特許 6378595 基板搬送装置 2018年 8月22日
特許 6378610 熱処理装置 2018年 8月22日
特許 6378639 処理システム、処理方法、及び、プログラム 2018年 8月22日
特許 6378942 載置台及びプラズマ処理装置 2018年 8月22日
特許 6379080 EUVレジストエッチング耐久性を向上しパターン崩壊の軽減するパターン化の方法。 2018年 8月22日
特許 6373150 基板処理システム及び基板処理方法 2018年 8月15日
特許 6373160 プラズマ処理装置 2018年 8月15日
特許 6373803 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2018年 8月15日
特許 6374188 封止構造の形成方法、封止構造の製造装置、並びに有機EL素子構造の製造方法、及びその製造装置 2018年 8月15日
特許 6374301 ステージ、ステージの製造方法、熱交換器 2018年 8月15日
特許 6374647 プラズマ処理装置 2018年 8月15日
特許 6374775 基板搬送システム及びこれを用いた熱処理装置 2018年 8月15日

507 件中 181-195 件を表示

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6378234 6378294 6378389 6378595 6378610 6378639 6378942 6379080 6373150 6373160 6373803 6374188 6374301 6374647 6374775

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