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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6390472 成膜方法、成膜装置及び記憶媒体 2018年 9月19日
特許 6390732 処理液供給装置 2018年 9月19日
特許 6391261 DCパルスエッチング装置 2018年 9月19日
特許 6391263 プラズマ処理用のプラズマ調整ロッド及びマイクロ波処理システム 2018年 9月19日
特許 6391355 タングステン膜の成膜方法 2018年 9月19日
特許 6391558 熱処理装置、基板を熱処理する方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2018年 9月19日
特許 6392035 基板液処理装置 2018年 9月19日
特許 6392061 電子デバイス、その製造方法、及びその製造装置 2018年 9月19日
特許 6392143 基板処理装置、基板処理方法および基板処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体 2018年 9月19日
特許 6392266 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2018年 9月19日
特許 6392683 凹部を充填する方法及び処理装置 2018年 9月19日
特許 6393161 成膜装置 2018年 9月19日
特許 6393238 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 2018年 9月19日
特許 6393574 エッチング方法 2018年 9月19日
特許 6393632 IV族半導体の結晶化方法および成膜装置 2018年 9月19日

507 件中 136-150 件を表示

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6390472 6390732 6391261 6391263 6391355 6391558 6392035 6392061 6392143 6392266 6392683 6393161 6393238 6393574 6393632

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