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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第67位 588件 (2017年:第83位 585件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第50位 503件 (2017年:第66位 431件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6393661 | 基板液処理装置 | 2018年 9月19日 | |
特許 6388552 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2018年 9月12日 | |
特許 6388553 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2018年 9月12日 | |
特許 6389608 | Ti膜の成膜方法 | 2018年 9月12日 | |
特許 6384200 | 現像方法、現像装置、及び記憶媒体 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6384414 | 基板加熱装置、基板加熱方法、記憶媒体 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6385714 | 基板液処理装置、基板液処理装置の洗浄方法及び記憶媒体 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6385748 | 熱処理装置及び熱処理方法 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6385856 | Cu配線の形成方法および半導体装置の製造方法 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6385915 | エッチング方法 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6386133 | ラップアラウンド接点集積方式 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6386287 | プラズマの安定性判定方法及びプラズマ処理装置 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6386632 | プラズマ処理装置 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6387329 | 基板処理装置およびノズル洗浄方法 | 2018年 9月 5日 | |
特許 6379550 | 成膜装置 | 2018年 8月29日 |
507 件中 151-165 件を表示
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6393661 6388552 6388553 6389608 6384200 6384414 6385714 6385748 6385856 6385915 6386133 6386287 6386632 6387329 6379550
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11月29日(金) - 東京 港区
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12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月29日(金) - 東京 港区
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12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月4日(水) -
12月4日(水) -
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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