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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6393661 基板液処理装置 2018年 9月19日
特許 6388552 基板処理装置及び基板処理方法 2018年 9月12日
特許 6388553 基板処理装置及び基板処理方法 2018年 9月12日
特許 6389608 Ti膜の成膜方法 2018年 9月12日
特許 6384200 現像方法、現像装置、及び記憶媒体 2018年 9月 5日
特許 6384414 基板加熱装置、基板加熱方法、記憶媒体 2018年 9月 5日
特許 6385714 基板液処理装置、基板液処理装置の洗浄方法及び記憶媒体 2018年 9月 5日
特許 6385748 熱処理装置及び熱処理方法 2018年 9月 5日
特許 6385856 Cu配線の形成方法および半導体装置の製造方法 2018年 9月 5日
特許 6385915 エッチング方法 2018年 9月 5日
特許 6386133 ラップアラウンド接点集積方式 2018年 9月 5日
特許 6386287 プラズマの安定性判定方法及びプラズマ処理装置 2018年 9月 5日
特許 6386632 プラズマ処理装置 2018年 9月 5日
特許 6387329 基板処理装置およびノズル洗浄方法 2018年 9月 5日
特許 6379550 成膜装置 2018年 8月29日

507 件中 151-165 件を表示

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6393661 6388552 6388553 6389608 6384200 6384414 6385714 6385748 6385856 6385915 6386133 6386287 6386632 6387329 6379550

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