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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第67位 588件
(2017年:第83位 585件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第50位 503件
(2017年:第66位 431件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6380094 | 載置台及びプラズマ処理装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6381752 | 非双極性電子プラズマにより異方性の単一エネルギー中性ビームを提供する方法及び機器 | 2018年 8月29日 | |
特許 6382055 | 被処理体を処理する方法 | 2018年 8月29日 | |
特許 6382151 | 基板熱処理装置、基板熱処理方法、記録媒体及び熱処理状態検知装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6382764 | 接合装置及び接合システム | 2018年 8月29日 | |
特許 6382765 | 接合装置及び接合システム | 2018年 8月29日 | |
特許 6382769 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2018年 8月29日 | |
特許 6383022 | 基板検査システム | 2018年 8月29日 | |
特許 6383389 | 載置台 | 2018年 8月29日 | |
特許 6383647 | 測定システムおよび測定方法 | 2018年 8月29日 | |
特許 6383674 | 基板処理装置 | 2018年 8月29日 | |
特許 6376960 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2018年 8月22日 | |
特許 6376982 | 原料タンクのガス抜き方法および成膜装置 | 2018年 8月22日 | |
特許 6377030 | 基板処理装置 | 2018年 8月22日 | |
特許 6378070 | 成膜方法 | 2018年 8月22日 |
507 件中 166-180 件を表示
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6380094 6381752 6382055 6382151 6382764 6382765 6382769 6383022 6383389 6383647 6383674 6376960 6376982 6377030 6378070
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