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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6358977 熱処理装置、熱処理方法、及び、プログラム 2018年 7月18日
特許 6359444 配線層形成方法、配線層形成システムおよび記憶媒体 2018年 7月18日
特許 6359477 基板液処理装置 2018年 7月18日
特許 6359913 処理装置 2018年 7月18日
特許 6360276 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体製造装置 2018年 7月18日
特許 6360770 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2018年 7月18日
特許 6354539 基板処理装置、基板処理方法、記憶媒体 2018年 7月11日
特許 6356029 メタルハードマスクおよびその製造方法 2018年 7月11日
特許 6356059 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2018年 7月11日
特許 6356091 基板液処理装置、ヒータユニットの制御方法および記憶媒体 2018年 7月11日
特許 6356207 基板乾燥方法及び基板処理装置 2018年 7月11日
特許 6356295 基板洗浄装置、基板洗浄方法および記憶媒体 2018年 7月11日
特許 6356314 基板処理装置、編集方法及び記憶媒体 2018年 7月11日
特許 6356415 マイクロ波プラズマ源およびプラズマ処理装置 2018年 7月11日
特許 6357231 化学的研磨平坦化の方法 2018年 7月11日

507 件中 226-240 件を表示

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6358977 6359444 6359477 6359913 6360276 6360770 6354539 6356029 6356059 6356091 6356207 6356295 6356314 6356415 6357231

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