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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6404706 金属汚染除去方法および金属汚染除去装置 2018年10月10日
特許 6398761 基板処理装置 2018年10月 3日
特許 6400361 基板洗浄方法、基板処理方法、基板処理システム、および半導体装置の製造方法 2018年10月 3日
特許 6400412 搬送方法及び検査システム 2018年10月 3日
特許 6400425 多層膜をエッチングする方法 2018年10月 3日
特許 6400766 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 2018年10月 3日
特許 6394220 アライメント装置及び基板処理装置 2018年 9月26日
特許 6394466 基板処理装置 2018年 9月26日
特許 6395673 基板処理装置 2018年 9月26日
特許 6396670 成膜装置ならびに排気装置および排気方法 2018年 9月26日
特許 6396699 エッチング方法 2018年 9月26日
特許 6396819 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2018年 9月26日
特許 6396822 プラズマ処理装置のサセプタの電位を制御する方法 2018年 9月26日
特許 6397307 凹部を充填する方法 2018年 9月26日
特許 6397992 微粒子計測装置 2018年 9月26日

507 件中 121-135 件を表示

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6404706 6398761 6400361 6400412 6400425 6400766 6394220 6394466 6395673 6396670 6396699 6396819 6396822 6397307 6397992

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