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東京エレクトロン株式会社

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 ■ 2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 (上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6406231 基板処理装置 2018年10月17日
特許 6407762 成膜装置 2018年10月17日
特許 6407803 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2018年10月17日
特許 6407829 基板液処理装置、基板液処理方法 2018年10月17日
特許 6407832 処理液供給装置 2018年10月17日
特許 6407833 処理液供給装置 2018年10月17日
特許 6408673 基板処理装置、基板処理装置の基板検知方法および記憶媒体 2018年10月17日
特許 6408903 エッチング処理方法及びエッチング処理装置 2018年10月17日
特許 6408904 真空引き方法及び真空処理装置 2018年10月17日
特許 6407764 基板処理システム、基板処理システムの制御方法、及び記憶媒体 2018年10月17日
特許 6404111 プラズマ処理装置 2018年10月10日
特許 6401901 基板処理方法及び基板処理装置 2018年10月10日
特許 6402087 液処理装置 2018年10月10日
特許 6404189 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 2018年10月10日
特許 6404174 めっき処理方法、記憶媒体およびめっき処理システム 2018年10月10日

507 件中 106-120 件を表示

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6406231 6407762 6407803 6407829 6407832 6407833 6408673 6408903 6408904 6407764 6404111 6401901 6402087 6404189 6404174

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