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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6600990 | プラズマ処理装置 | 2019年11月 6日 | |
特許 6601257 | 基板処理方法 | 2019年11月 6日 | |
特許 6602230 | 石英管保持構造及びこれを用いた熱処理装置 | 2019年11月 6日 | |
特許 6602261 | 成膜方法 | 2019年11月 6日 | |
特許 6603530 | プラズマ処理装置、及び、プラズマ処理装置の制御方法 | 2019年11月 6日 | |
特許 6603586 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | 2019年11月 6日 | |
特許 6597296 | 基板処理方法 | 2019年10月30日 | |
特許 6597732 | ガス処理装置 | 2019年10月30日 | |
特許 6597740 | 成膜方法及び成膜装置 | 2019年10月30日 | |
特許 6597872 | 基板処理方法 | 2019年10月30日 | |
特許 6598635 | 基板押圧機構および接合装置 | 2019年10月30日 | |
特許 6600480 | 被処理体を処理する方法 | 2019年10月30日 | |
特許 6600568 | 流量制御器の出力流量を求める方法 | 2019年10月30日 | |
特許 6600588 | 基板搬送機構の洗浄方法及び基板処理システム | 2019年10月30日 | |
特許 6593004 | プラズマ処理装置 | 2019年10月23日 |
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6600990 6601257 6602230 6602261 6603530 6603586 6597296 6597732 6597740 6597872 6598635 6600480 6600568 6600588 6593004
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11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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12月2日(月) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
12月4日(水) - 大阪 大阪市
12月5日(木) - 東京 港区
12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月5日(木) - 大阪 大阪市
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12月6日(金) -
12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
12月6日(金) -
12月2日(月) - 滋賀 草津市
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