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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年10月29日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6594445 半導体装置の製造装置及び製造方法 2019年10月23日
特許 6595396 プラズマ処理装置 2019年10月23日
特許 6596288 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2019年10月23日
特許 6596316 熱処理システム、熱処理方法、及び、プログラム 2019年10月23日
特許 6596330 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2019年10月23日
特許 6596340 基板洗浄方法および基板洗浄装置 2019年10月23日
特許 6596342 紫外線処理装置、接合システム、紫外線処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2019年10月23日
特許 6596362 減圧された空間において被加工物を処理する処理装置 2019年10月23日
特許 6596374 基板検査装置 2019年10月23日
特許 6596435 シャワーヘッド及び成膜装置 2019年10月23日
特許 6590716 トランジスタの閾値制御方法および半導体装置の製造方法 2019年10月16日
特許 6590735 混合ガス複数系統供給システム及びこれを用いた基板処理装置 2019年10月16日
特許 6591043 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年10月16日
特許 6592394 プラズマ処理装置の保守方法 2019年10月16日
特許 6592400 エッチング方法 2019年10月16日

418 件中 61-75 件を表示

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6594445 6595396 6596288 6596316 6596330 6596340 6596342 6596362 6596374 6596435 6590716 6590735 6591043 6592394 6592400

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