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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6576124 液滴吐出装置、液滴吐出方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2019年 9月18日
特許 6576235 DRAMキャパシタの下部電極およびその製造方法 2019年 9月18日
特許 6576277 窒化膜の形成方法 2019年 9月18日
特許 6578101 処理システム及び処理方法 2019年 9月18日
特許 6578145 エッチング方法 2019年 9月18日
特許 6572371 ウエハ検査装置 2019年 9月11日
特許 6573325 プラズマ密度を制御するシステムおよび方法 2019年 9月11日
特許 6573498 プラズマ処理装置 2019年 9月11日
特許 6573531 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体 2019年 9月11日
特許 6573559 気化原料供給装置及びこれを用いた基板処理装置 2019年 9月11日
特許 6573575 凹部の埋め込み方法 2019年 9月11日
特許 6573820 プラズマ処理装置用部材及びプラズマ処理装置 2019年 9月11日
特許 6574547 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年 9月11日
特許 6574656 基板処理装置 2019年 9月11日
特許 6574715 基板搬送方法及び基板処理システム 2019年 9月11日

418 件中 106-120 件を表示

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6576124 6576235 6576277 6578101 6578145 6572371 6573325 6573498 6573531 6573559 6573575 6573820 6574547 6574656 6574715

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