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東京エレクトロン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第20位 593件 上昇2024年:第25位 802件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7717184 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 8月 1日
特許 7717185 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 8月 1日
特許 7717186 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 8月 1日
特許 7717195 基板処理装置、及び基板処理方法 2025年 8月 1日
特許 7717220 異常検出装置及び異常検出方法 2025年 8月 1日
特許 7716254 基板処理装置及び基板処理方法 2025年 7月31日
特許 7716326 検出システム、検出方法及び記憶媒体 2025年 7月31日
特許 7716347 プラズマ処理装置 2025年 7月31日
特許 7716483 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 7月31日
特許 7716556 処理液供給装置 2025年 7月31日
特許 7715462 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2025年 7月30日
特許 7715464 基板処理装置 2025年 7月30日
特許 7715465 プラズマ溶射装置 2025年 7月30日
特許 7715466 基板処理方法及び基板処理システム 2025年 7月30日
特許 7715467 基板処理装置及びリング部材の位置合わせ方法 2025年 7月30日

600 件中 106-120 件を表示

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7717184 7717185 7717186 7717195 7717220 7716254 7716326 7716347 7716483 7716556 7715462 7715464 7715465 7715466 7715467

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