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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特開 2022-180577	半導体デバイス製造における酸化スズ膜	2022年12月 6日
特開 2022-180585	デザイナー原子層エッチング	2022年12月 6日
特表 2022-550568	高性能ＥＵＶフォトレジストのための高ＥＵＶ吸収体による基板の表面修飾	2022年12月 2日
特表 2022-550336	基板支持物の温度分布プロファイルに影響を及ぼす調節できる熱遮蔽物および調節できない熱遮蔽物	2022年12月 1日
特表 2022-550449	リップシールプレートアウトを防止するためのウエハ遮蔽	2022年12月 1日
特表 2022-550057	高アスペクト比フィーチャの製造中に劣化を防止するためのマスク封入	2022年11月30日
特表 2022-550201	変圧器および／または変圧器結合コンバイナを含む無線周波数分配回路	2022年11月30日
特表 2022-549793	光干渉法および反射率測定法を使用した半導体機器の自律プロセス制御および最適化のためのシステムおよび方法	2022年11月29日
特表 2022-549368	リモートプラズマを用いる選択的グラフェン堆積	2022年11月24日
特表 2022-547950	人工知能を用いたｉｎ－ｓｉｔｕセンサ融合	2022年11月16日
特表 2022-547953	原子層エッチングおよびイオンビームエッチングのパターニング	2022年11月16日
特表 2022-547969	基板処理システムの処理チャンバの整合を改善するための流量計測較正	2022年11月16日
特表 2022-547489	半導体装置用の収着チャンバ壁	2022年11月14日
特表 2022-547281	犠牲ブレーシング、表面保護、および、キュータイム管理のための小分子膜	2022年11月11日
特表 2022-547025	モリブデン堆積	2022年11月10日

188 件中 16-30 件を表示

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2022-180577 2022-180585 2022-550568 2022-550336 2022-550449 2022-550057 2022-550201 2022-549793 2022-549368 2022-547950 2022-547953 2022-547969 2022-547489 2022-547281 2022-547025

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