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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-544221	ウエハ内の様々な反りを補償するために空間を調整する堆積	2022年10月17日
特表 2022-543811	基板処理システムのためのエッジリングシステム	2022年10月14日
特表 2022-543546	エッジリングポケットを洗浄するためのシステムおよび方法	2022年10月13日
特表 2022-543453	マルチステーション処理モジュールにおけるウエハ搬送のためのスピンドルアセンブリ	2022年10月12日
特表 2022-542945	カメラウエハを使用した台座セットアップ	2022年10月 7日
特表 2022-542946	基板処理システムの自律的な制御及び検査のためのハードウェア・ソフトウェア統合型コンピュータビジョンシステム	2022年10月 7日
特表 2022-542397	複数の出力ポートを有する無線周波数電力発生器	2022年10月 3日
特表 2022-542089	ＭＲＡＭパターニングのための不揮発性材料の化学エッチング	2022年 9月29日
特表 2022-542093	基板処理システムにおける不均一性のＩＮＳＩＴＵリアルタイム感知および補償	2022年 9月29日
特表 2022-541771	基板処理システム用の熱電冷却台座	2022年 9月27日
特開 2022-140572	結合リング内に電極を使用することによってエッジ領域におけるイオンの方向性を制御するためのシステム及び方法	2022年 9月26日
特表 2022-541664	半導体処理装置のための非エラストマ性、非ポリマ性、かつ非金属性の膜弁	2022年 9月26日
特表 2022-541346	自動ウェハーハンドリングロボットの教育及びヘルスチェックのための統合化された適応型位置決めシステム及びルーチン	2022年 9月22日
特開 2022-137282	ウエハエッジにおける方位角方向の厚さの均一性を向上させるためのポケット内ウエハのセンタリング	2022年 9月21日
特表 2022-540767	マルチゾーン台座の温度制御	2022年 9月20日

188 件中 46-60 件を表示

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2022-544221 2022-543811 2022-543546 2022-543453 2022-542945 2022-542946 2022-542397 2022-542089 2022-542093 2022-541771 2022-140572 2022-541664 2022-541346 2022-137282 2022-540767

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