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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2022-540789	複数のパターニング放射吸収元素および／または垂直組成勾配を備えたフォトレジスト	2022年 9月20日
特表 2022-539991	交互のエッチングプロセスおよび不動態化プロセス	2022年 9月14日
特開 2022-133380	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2022年 9月13日
特表 2022-539699	選択的カーボン堆積	2022年 9月13日
特表 2022-539721	フォトレジスト乾式蒸着のための装置	2022年 9月13日
特表 2022-539027	基板表面の蒸気洗浄	2022年 9月 7日
特開 2022-130533	調整可能／交換可能なエッジ結合リングのための検出システム	2022年 9月 6日
特表 2022-538723	プラズマソース／バイアス電力伝送の高速同期	2022年 9月 6日
特表 2022-538554	フォトレジスト膜のチャンバ乾式洗浄	2022年 9月 5日
特表 2022-538555	金属含有レジストのリソグラフィ性能を向上させるためのベーキング方法	2022年 9月 5日
特表 2022-538595	選択的不動態化のために標的蒸着を用いてフィーチャをエッチングするための方法	2022年 9月 5日
特表 2022-538040	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2022年 8月31日
特開 2022-123004	追加の回転軸を有する回転インデクサ	2022年 8月23日
特表 2022-537038	基板処理システム用の縮径キャリアリングハードウェア	2022年 8月23日
特表 2022-536631	パターニングにおける反応性イオンエッチングのための重合保護層	2022年 8月18日

188 件中 61-75 件を表示

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2022-540789 2022-539991 2022-133380 2022-539699 2022-539721 2022-539027 2022-130533 2022-538723 2022-538554 2022-538555 2022-538595 2022-538040 2022-123004 2022-537038 2022-536631

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