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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2023-550044	シールを含む台座	2023年11月30日
特開 2023-169252	プラズマチャンバ壁の状態のリアルタイム監視のための方法および装置	2023年11月29日
特表 2023-549331	半導体製造装置のための予知保全	2023年11月24日
特表 2023-549166	センサマッピングおよびトリガされるデータロギングを含む、健全性に基づいてモニタリング、評価、および応答するための基板処理システムツール	2023年11月22日
特表 2023-548929	インピーダンス整合器のための均一性制御回路	2023年11月21日
特表 2023-548039	回転可能なトッププレートアセンブリを有するマルチステーションツール	2023年11月15日
特開 2023-164850	テレセントリックレンズ、光ビーム折り畳みアセンブリ、またはポリゴンスキャナを有するレンズ回路を含む原子層エッチングおよび原子層堆積の処理システム	2023年11月14日
特表 2023-547315	プラズマエッチングリアクタ内への気相堆積プロセスの統合	2023年11月10日
特表 2023-546874	マルチＲＦ区域化された基板支持体を含むプラズマ密度分布プロファイルを制御するためのシステム	2023年11月 8日
特表 2023-546961	ＲＦパルス化スキームの同期及びセンサデータ収集の同期	2023年11月 8日
特表 2023-546350	プラズマ処理システム用の可動エッジリング	2023年11月 2日
特表 2023-546200	コールドエッジ低温静電チャック	2023年11月 1日
特開 2023-159242	プラズマ処理副生成物を管理するための構成要素および処理	2023年10月31日
特表 2023-544798	一体型迂回流路を有するシャワーヘッド	2023年10月25日
特開 2023-156415	可動エッジリング設計	2023年10月24日

259 件中 16-30 件を表示

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2023-550044 2023-169252 2023-549331 2023-549166 2023-548929 2023-548039 2023-164850 2023-547315 2023-546874 2023-546961 2023-546350 2023-546200 2023-159242 2023-544798 2023-156415

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