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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特表 2024-511016	誘電率調節可能セラミック窓	2024年 3月12日
特表 2024-510254	プロセスチャンバの遠隔プラズマ洗浄用のノズル	2024年 3月 6日
特表 2024-510255	インジウムガリウム亜鉛酸化物のエッチング	2024年 3月 6日
特開 2024-29003	エッジエクスクルージョン制御	2024年 3月 5日
特開 2024-29058	ガス分配器および流量検証器	2024年 3月 5日
特開 2024-29060	ギャップ充填時の蒸着およびエッチングのための装置および方法	2024年 3月 5日
特開 2024-29147	半導体デバイス製造における酸化スズ被膜スペーサ	2024年 3月 5日
特表 2024-509747	高アスペクト比プラズマエッチングのための金属系ライナー保護	2024年 3月 5日
特表 2024-509819	半導体処理チャンバ構成要素のためのポリマコーティング	2024年 3月 5日
特開 2024-26267	改善されたチャンバ整合のためのハイブリッド流量計測	2024年 2月28日
特開 2024-26298	ＲＦ供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法	2024年 2月28日
特開 2024-26299	エッジリングリフトを用いた動的シース制御	2024年 2月28日
特開 2024-23604	熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測	2024年 2月21日
特開 2024-23646	統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ	2024年 2月21日
特表 2024-507722	均一性を実現するためのデューティサイクル制御	2024年 2月21日

174 件中 136-150 件を表示

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2024-511016 2024-510254 2024-510255 2024-29003 2024-29058 2024-29060 2024-29147 2024-509747 2024-509819 2024-26267 2024-26298 2024-26299 2024-23604 2024-23646 2024-507722

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